- Q:
化学方法以及化学液的定量分析方法
- 本发明涉及金属化学方法，更详细说，涉及在半导体器件基板或 液晶元件基板等的基板制造工序等中，为了对金属（层）形成微细电 极或金属配线而使用感光性树脂等的微细蚀刻工序中适用的化学方 法。此外，本发明涉及上述蚀刻液的定量分析方法以及从上述蚀刻液 中回收磷酸的方法。 背景技术
- Q:
硝酸的定量分析和磷酸的定量分析
- 用水稀释上述的混酸液6g,作成250g。调制成每lg有25mg 硝酸的硝酸钾水溶液作为基准液，测定302nm附近的吸光度。用水作 为对照液。由基准液和吸光度的关系作成校准线，算出混酸液中的硝 酸浓度。硝酸的浓度为14.9重量％。硝酸当量为（14.9 (重量％) /100) /0.0631=2.365(meq.)。这里，0.0631是相当于1摩尔/升的氢氧化钠lml 的硝酸量（g)。并且，这时的CV值（变动系数）为0.3%,分析值的 离散小。
微信咨询
在线交谈
13728867266